한국연구재단

반복되는 영역 건너뛰기 본문 바로가기 상단메뉴 바로가기

[]

사업목적

  • 방사광가속기 기반 차세대 반도체 검사장비의 극자외선(EUV) 광원 개발 및 진단장치의 국내생산제품 적용 및 기술자립 지원

사업개요

  • 지원기간 : 2020 ~ 2022
  • 지원대상 : 포항가속기연구소
  • 지원규모 : 290억원

추진 일정

  • 2021. 1. : 연구개시
  • 2021. 12. : 연차점검


  • 투자계획

(단위 : 백만원) 

지원내용
지원과제 2020 실적 2021 계획 비고
반도체 검사용 EUV 광원 및 장비기술개발사업 11,500 11,500  
11,500 11,500  
·

콘텐츠 관리

  • 담당부서
    원자력단
  • 담당자
    이상옥
  • 전화번호
    042-869-7847
콘텐츠 만족도평가
한국연구재단 연구자 회원이 한국연구재단 콘텐츠 내용을 평가하고 올바른 최신의 정보를 유지할 수 있도록 하였습니다.
여러분께서 주신 소중한 의견과 평가 결과는 앞으로 홈페이지 운영에 적극 반영이 될 수 있도록 하겠습니다.

지금 보고 계시는 화면의 정보와 사용 편의성에 만족하십니까?

5점 4점 3점 2점 1점

한국연구재단