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[거대과학연구개발사업 > 반도체 검사용 EUV 광원 및 장비기술개발사업]

사업목적

  • 방사광가속기 기반 차세대 반도체 검사장비의 극자외선(EUV) 광원 개발 및 진단장치의 국내생산제품 적용 및 기술자립 지원

사업개요

  • 지원기간 : 2020 ~ 2022
  • 지원대상 : 포항가속기연구소
  • 지원규모 : 290억원

추진 일정

  • 2021. 1. : 연구개시
  • 2021. 12. : 연차점검


  • 투자계획

(단위 : 백만원) 

지원내용
지원과제 2020 실적 2021 계획 비고
반도체 검사용 EUV 광원 및 장비기술개발사업 11,500 11,500  
11,500 11,500  
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콘텐츠 관리

  • 담당부서
    핵융합ㆍ방사선팀
  • 담당자
    김영진
  • 전화번호
    042-869-7794
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